其真空系统漏气的原因常见的有以下几种情况。
1、焊接、封接时有缺陷。
2、器壁材料有气孔、夹渣、裂纹。
3、在焊接应力作用下使焊缝产生裂纹。
4、法兰变形,或压的不平,螺栓没上紧均能引起漏气。
5、零件在冷加工中出现裂纹。
6、零件受冷、热冲击或机械冲击后,焊缝产生裂纹。
7、密封面加工粗糙、有划痕、有油污、氧化皮等;密封圈有划伤,压缩量不够,均会引起漏气。
真空系统的其他组件,以确保真空系统实现和维持真空的工作除了需要配备合适的抽真空泵的性能,同样真空计也是一样的,还必须经过严格的泄漏,以消除真空泄漏的破坏,从而使系统中的少量泄漏程度,工艺要求允许。真空计,真空和高真空系统通常使用的压力泄漏;粗略检查后,一般为超高真空系统泄漏检测方法,但也高灵敏度检漏仪,如卤素检漏仪检漏和质谱检漏仪探测器。
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